Lithography1 lithography EUV 공정에 대한 기초 설명 반도체 공정 중 lithography에 대해서 간략하게 정리 해 보고자 합니다. 반도체 공정에는 다양한 공정이 있습니다. 각 공정 별 설명을 할 예정이고, 이번 포스팅에서는 lithography에 대해서 먼저 정리 해 보고자 합니다. Si위에 SiO2 산화막을 길렀다면 이제 원하는 모양으로 산화막을 만들어야 합니다. 특정 부분은 산화막을 지워야 하고, 특정 부분은 살려서 또 다른 용도로 사용하기 위함입니다. 즉 아파트 단지를 설계하기 위해 땅에다가 표시를 하고 설계도를 그려야 하는데 그 작업을 이 lithography에서 진행을 하게 됩니다. Photolithography라고도 불립니다. 이 공정이 매우 작게 그리고 무조건적으로 정확하게 진행이 되어야 집적도가 높은 반도체를 생산할 수 있게 됩니다. Li.. 2020. 5. 4. 이전 1 다음
